壓電納米定位
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高負(fù)載平臺(tái)內(nèi)部采用楔形機(jī)械設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),外部配備額外的恒力彈簧,豎直方向利用閉環(huán)LS系列直線定位臺(tái),更好的提高了穩(wěn)定載升能力的同時(shí)確保了定位分辨率。HFS系列與LS和RS系列定位臺(tái)可以自由組合。
HF-5-20高負(fù)載平臺(tái)內(nèi)部采用楔形機(jī)械設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),外部配備額外的恒力彈簧,豎直方向利用閉環(huán)LS系列直線定位臺(tái),更好的提高了穩(wěn)定載升能力的同時(shí)確保了定位分辨率。HFS系列與LS和RS系列定位臺(tái)可以自由組合。
HF-8-10高負(fù)載平臺(tái)標(biāo)配為鋁底座;可選配鋼座(-ST)、鈦基(-TI);均黑色陽極氧化(-BK)。