集萃微納自動化
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高負(fù)載平臺
HFS
系列高負(fù)載平臺內(nèi)部采用楔形機(jī)械設(shè)計結(jié)構(gòu),外部配備額外的恒力彈簧,豎直方向利用閉環(huán)
LS
系列直線定位臺,更好的提高了穩(wěn)定載升能力的同時確保了定位分辨率。
HFS
系列與
LS
和
RS
系列定位臺可以自由組合。
HF-5-5
列表說明
最大升力[N]:5 行程[mm]: 5
HF-5-10
列表說明
最大升力[N]:5 行程[mm]: 10
HF-5-20
列表說明
最大升力[N]:5 行程[mm]: 20
HF-8-10
列表說明
最大升力[N]:8 行程[mm]: ±5
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